下载磁传感器的制造方法及磁传感器集合体的技术资料

文档序号:24865592

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磁传感器1的制造方法包括下述工序:硬磁体层形成工序,在圆盘状的非磁性基板10上形成将被加工成薄膜磁铁20的硬磁体层103;软磁体层形成工序,在基板1O上的硬磁体层103上层叠形成软磁体层105,所述软磁体层105将被加工成对磁场进行感应的感...
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