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具有AlInN镁反向扩散阻挡层的氮化镓基紫外激光器制造技术
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下载具有AlInN镁反向扩散阻挡层的氮化镓基紫外激光器的技术资料
文档序号:24860999
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一种具有AlInN镁反向扩散阻挡层的氮化镓基紫外激光器包括一氮化镓同质衬底;一n型同质外延层;一n型限制层;一n型波导层;一有源区;一AlInN镁反向扩散阻挡层;一p型电子阻挡层;一p型波导层;一p型限制层,其制作在p型波导层上,该p型限制...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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