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本申请提供一种紫外LED外延结构及其制备方法，涉及发光二极管领域，所述外延结构包括：衬底、第一AlN层、第二AlN层、N型Al...
该专利属于江西新正耀光学研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西新正耀光学研究院有限公司授权不得商用。

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