下载一种硅片制绒方法的技术资料

文档序号:24860035

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本发明公开一种硅片制绒方法,包括以下步骤:S1、将待处理硅片进行前氧化处理,除去硅片表面污染物;S2、将S1所得硅片放入纯水中清洗;S3、将S2所得硅片放入SDE槽中SDE处理;S4、将S3所得硅片进行表面氧化处理;S5、将S4所得硅片放入...
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