下载一种基于碱抛的选择性发射极电池正面保护方法的技术资料

文档序号:24859985

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本发明公开一种基于碱抛的选择性发射极电池正面保护方法,将P型硅片进行制绒清洗,扩散形成高方阻硅片;激光掺杂同时在硅片表面打出mark点,将待氧化的硅片表面制作致密氧化层薄膜;链式去除背面PSG,后经过质量分数为5%的KOH碱槽进行背表面抛光...
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