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本发明公开一种基于碱抛的选择性发射极电池正面保护方法,将P型硅片进行制绒清洗,扩散形成高方阻硅片;激光掺杂同时在硅片表面打出mark点,将待氧化的硅片表面制作致密氧化层薄膜;链式去除背面PSG,后经过质量分数为5%的KOH碱槽进行背表面抛光...该专利属于江苏日托光伏科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏日托光伏科技股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开一种基于碱抛的选择性发射极电池正面保护方法,将P型硅片进行制绒清洗,扩散形成高方阻硅片;激光掺杂同时在硅片表面打出mark点,将待氧化的硅片表面制作致密氧化层薄膜;链式去除背面PSG,后经过质量分数为5%的KOH碱槽进行背表面抛光...