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本发明提供一种紫外线热处理设备的旋转组件，包括至少一个旋转件，所述旋转件能够绕该旋转件的旋转轴旋转，还包括与旋转件间隔设置的止动机构，所述止动机构包括止动索和壳体，所述壳体上形成有绳索出口，所述止动索的一端设置在所述壳体内，所述止动索的另一...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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