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一种用于芯片镀膜工艺的砝码重量配置方法与系统技术方案
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下载一种用于芯片镀膜工艺的砝码重量配置方法与系统的技术资料
文档序号:24859521
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本发明揭示了一种用于芯片镀膜工艺的砝码重量配置方法,包括以下步骤:确定砝码的初始重量;对芯片进行保压;对芯片的保压质量进行检测;反馈检测结果;根据反馈结果调整砝码重量。本发明还提供了一种用于芯片镀膜工艺的砝码重量配置系统,包括:保压设备,测...
该专利属于深圳市海铭德科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市海铭德科技有限公司授权不得商用。
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