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本实用新型提供了一种氧化铌靶材，包括铜板，所述铜板包括正面和背面，所述铜板的正面设有嵌合槽，所述嵌合槽内嵌合有由若干块氧化铌拼接而成的靶材，所述靶材与嵌合槽槽底之间设有一层金属铟，沿着所述铜板边沿设有若干固定通孔，所述铜板的背面设有水冷槽。...
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