下载一种晶圆垫片的技术资料

文档序号:24852600

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本实用新型涉及一种晶圆垫片,包括填充装有晶圆的包装盒多余空间的第一垫片和第二垫片;所述第二垫片的厚度大于所述第一垫片的厚度;所述第一垫片包括第一环状主体;所述第一环状主体上设有至少一个第一吸合面,以在晶圆自动化包装时供吸盘吸附于其上;所述第...
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