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本申请公开了一种用于光学相控阵芯片的接口、芯片和相位调制方法，包括：波导、光纤阵列、热光调制器，定向耦合器和锗探测器；光纤阵列与多条波导耦合相连，将接收到的激光传输至波导；多个热光调制器与多个定向耦合器相连，热光调制器对通过的波导进行折射率...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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