下载一种温度传感器液体环境晶圆级测试方法的技术资料

文档序号:24848145

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本发明实施例公开了一种温度传感器液体环境晶圆级测试方法,所述温度传感器液体环境晶圆级测试装置包括测试仪、安装有多个探针的探针卡、用于承载待测试温度传感器晶圆的台盘、以及存贮有绝缘导热油的容器,所述测试仪通过导线与探针的端部连接,所述探针与待...
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