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本实用新型属于硅棒加工技术领域，特别涉及一种半导体晶棒夹持装置，包括支撑导轨以及安装在支撑导轨两端的头架顶尖组件和尾架顶尖组件。所述头架顶尖组件固定在所述支撑导轨上，所述尾架顶尖组件可沿所述支撑导轨移动。本实用新型采用头架顶尖组件和尾架顶尖...
该专利属于青岛高测科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛高测科技股份有限公司授权不得商用。

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