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本发明公开了一种单一电子束蒸发源的镀膜机，包括公转夹具（1）、真空室腔体（6）、真空室门（9），在真空室腔体（6）内设置有单一电子束蒸发源（4），在真空室腔体（6）内公转夹具（1）的下方和电子束蒸发源（4）所在蒸发平面（5）的上方设置有可升...
该专利属于成都国泰真空设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都国泰真空设备有限公司授权不得商用。

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