下载一种硅片料清洗用漂流机械臂的技术资料

文档序号:24840415

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本实用新型公开了一种硅片料清洗用漂流机械臂,包括气缸、横杆、漂流箱、漂流篮和鼓风机,漂流箱的内壁上固定有支撑块,支撑块的上方放置有漂流篮,漂流箱两侧的地面上放置有支架,支架的上端固定有气缸,气缸一侧的支架上端固定有导轨,导轨上通过滑块滑动连...
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