一种硅片料清洗用漂流机械臂制造技术

技术编号:24840415 阅读:92 留言:0更新日期:2020-07-10 18:57
本实用新型专利技术公开了一种硅片料清洗用漂流机械臂,包括气缸、横杆、漂流箱、漂流篮和鼓风机,漂流箱的内壁上固定有支撑块,支撑块的上方放置有漂流篮,漂流箱两侧的地面上放置有支架,支架的上端固定有气缸,气缸一侧的支架上端固定有导轨,导轨上通过滑块滑动连接有竖杆,竖杆内侧的上端部固定有横杆,横杆的内侧嵌入固定有硬质水管,硬质水管的底部固定有漂流清洗管,漂流清洗管的底部固定有喷嘴,漂流箱内部的上端固定有基板,基板的上方固定有鼓风机。本实用新型专利技术通过设置有横杆、气缸、漂流箱、漂流篮、喷嘴、漂流清洗管、鼓风机,解决了人工对硅片料进行清洗的效果差、浪费人力资源、效率低和无法对清洗后的硅片料进行快速干燥的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片料清洗用漂流机械臂
本技术涉及硅片料清洗
,具体为一种硅片料清洗用漂流机械臂。
技术介绍
硅,指半导体制作材料是“晶体硅”,制作的元件叫做晶体管。片,指这个器件的形状为片状,形容比较薄。硅片,又叫做“芯片”、集成电路块。一只硅片里面通常含有数十到数万个硅晶体管组成的电路,完成一个或者数个功能。目前,现有的硅片料在生产加工时,需要对其进行漂流清洗,而传统的现有技术都是通过人工漂流清洗,人工漂流时手动摇摆给水,大大增加了人力,浪费人力资源,且需要人工守护,不停的摇摆供水管,一但停止摇摆漂流工作即停止,工作效率偏低,人工摇摆不均匀,漂流效果不佳,沉料多,辅助工作操作时需停止漂流工作,局限性较大,且漂流清洗完成后无法快速的对硅片料进行干燥,因此有必要对现有技术进行改进,以解决上述问题。
技术实现思路
(一)解决的技术问题本技术的目的在于提供一种硅片料清洗用漂流机械臂,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。(二)技术方案为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种硅片料清洗用漂流机械臂,包括气缸、横杆、漂流本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片料清洗用漂流机械臂,包括气缸(2)、横杆(6)、漂流箱(11)、漂流篮(12)和鼓风机(18),其特征在于:所述漂流箱(11)的内壁上固定有支撑块(13),所述支撑块(13)的上方放置有漂流篮(12),所述漂流箱(11)放置于地面(9)上,所述漂流箱(11)两侧的地面(9)上放置有支架(1),所述支架(1)的上端固定有气缸(2),所述气缸(2)一侧的支架(1)上端固定有导轨(3),所述导轨(3)上通过滑块(4)滑动连接有竖杆(5),所述竖杆(5)内侧的上端部固定有横杆(6),所述横杆(6)的内侧嵌入固定有硬质水管(7),所述硬质水管(7)的底部固定有漂流清洗管(16),所述漂流清洗...

【技术特征摘要】
1.一种硅片料清洗用漂流机械臂,包括气缸(2)、横杆(6)、漂流箱(11)、漂流篮(12)和鼓风机(18),其特征在于:所述漂流箱(11)的内壁上固定有支撑块(13),所述支撑块(13)的上方放置有漂流篮(12),所述漂流箱(11)放置于地面(9)上,所述漂流箱(11)两侧的地面(9)上放置有支架(1),所述支架(1)的上端固定有气缸(2),所述气缸(2)一侧的支架(1)上端固定有导轨(3),所述导轨(3)上通过滑块(4)滑动连接有竖杆(5),所述竖杆(5)内侧的上端部固定有横杆(6),所述横杆(6)的内侧嵌入固定有硬质水管(7),所述硬质水管(7)的底部固定有漂流清洗管(16),所述漂流清洗管(16)的底部固定有喷嘴(15),所述漂流箱(11)内部的上端固定有基板(17),所述基板(17)的上方固定有鼓风机(18)。


2.根据权利要求1所述的一种硅片料清洗用漂流机械臂,其特征在于:所述漂流箱(11)共设有三组,所述支架(1)及其上方的气缸(2)、导轨(3)...

【专利技术属性】
技术研发人员:李威
申请(专利权)人:浙江矽盛电子有限公司
类型:新型
国别省市:浙江;33

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1