一种硅片料清洗用漂流机械臂制造技术

本实用新型专利技术公开了一种硅片料清洗用漂流机械臂，包括气缸、横杆、漂流箱、漂流篮和鼓风机，漂流箱的内壁上固定有支撑块，支撑块的上方放置有漂流篮，漂流箱两侧的地面上放置有支架，支架的上端固定有气缸，气缸一侧的支架上端固定有导轨，导轨上通过滑块滑动连接有竖杆，竖杆内侧的上端部固定有横杆，横杆的内侧嵌入固定有硬质水管，硬质水管的底部固定有漂流清洗管，漂流清洗管的底部固定有喷嘴，漂流箱内部的上端固定有基板，基板的上方固定有鼓风机。本实用新型专利技术通过设置有横杆、气缸、漂流箱、漂流篮、喷嘴、漂流清洗管、鼓风机，解决了人工对硅片料进行清洗的效果差、浪费人力资源、效率低和无法对清洗后的硅片料进行快速干燥的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片料清洗用漂流机械臂
本技术涉及硅片料清洗
，具体为一种硅片料清洗用漂流机械臂。
技术介绍
硅，指半导体制作材料是“晶体硅”，制作的元件叫做晶体管。片，指这个器件的形状为片状，形容比较薄。硅片，又叫做“芯片”、集成电路块。一只硅片里面通常含有数十到数万个硅晶体管组成的电路，完成一个或者数个功能。目前，现有的硅片料在生产加工时，需要对其进行漂流清洗，而传统的现有技术都是通过人工漂流清洗，人工漂流时手动摇摆给水，大大增加了人力，浪费人力资源，且需要人工守护，不停的摇摆供水管，一但停止摇摆漂流工作即停止，工作效率偏低，人工摇摆不均匀，漂流效果不佳，沉料多，辅助工作操作时需停止漂流工作，局限性较大，且漂流清洗完成后无法快速的对硅片料进行干燥，因此有必要对现有技术进行改进，以解决上述问题。
技术实现思路
(一)解决的技术问题本技术的目的在于提供一种硅片料清洗用漂流机械臂，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。(二)技术方案为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种硅片料清洗用漂流机械臂，包括气缸、横杆、漂流箱、漂流篮和鼓风机，所述漂流箱的内壁上固定有支撑块，所述支撑块的上方放置有漂流篮，所述漂流箱放置于地面上，所述漂流箱两侧的地面上放置有支架，所述支架的上端固定有气缸，所述气缸一侧的支架上端固定有导轨，所述导轨上通过滑块滑动连接有竖杆，所述竖杆内侧的上端部固定有横杆，所述横杆的内侧嵌入固定有硬质水管，所述硬质水管的底部固定有漂流清洗管，所述漂流清洗管的底部固定有喷嘴，所述漂流箱内部的上端固定有基板，所述基板的上方固定有鼓风机。优选的，所述漂流箱共设有三组，所述支架及其上方的气缸、导轨皆设有两组，且两组导轨上的滑块上皆固定有竖杆，两组竖杆分别对应横杆的两端。优选的，所述漂流篮的内部放置有硅片料主体，所述喷嘴底端的水平位置低于漂流篮上端面的水平位置。优选的，所述漂流箱的一侧贯穿固定有排水管，且排水管的排水量等于喷嘴的出水量。优选的，所述横杆的内部开设有圆槽，所述硬质水管嵌入圆槽内与横杆固定连接。优选的，所述漂流清洗管的底部共设有九个喷嘴，且喷嘴与漂流清洗管、硬质水管和进水管连通。(三)有益效果与现有技术相比，本技术的有益效果是：(1)本技术通过设置横杆、气缸、漂流箱、漂流篮、喷嘴、漂流清洗管，使本技术采用机械化的漂流清洗方式，无需人工守护，打开电源和气阀，即可自动摇摆给水，进行漂流清洗，且机械化的摇摆均匀，无间断，辅助工作操作时无需停止漂流工作，有效的解决了人工对硅片料进行清洗的效果差、浪费人力资源、效率低的问题，在进行漂流清洗时，将硅片料主体放置于漂流篮内，漂流篮通过支撑块放置在漂流箱内，利用气缸带动滑块在导轨上运动，滑块带动竖杆及横杆做水平往复运动，从而使横杆内的硬质水管做水平往复运动，而硬质水管通过进水管连通外界水源供水，通过漂流清洗管聚集，由喷嘴喷出，在漂流箱内对硅片料主体进行机械式漂流清洗。(2)本技术通过设置鼓风机、漂流箱，使本技术能够在漂流清洗后快速的进行风干处理，便于后续的加工使用，有效的解决了无法对清洗后的硅片料进行快速干燥的问题，在漂流清洗后，将漂流篮取出，放置在漂流箱上，利用鼓风机的工作吹风，对清洗好的硅片料主体进行快速风干。附图说明图1为本技术的内部结构示意图；图2为本技术的漂流箱的侧剖图；图3为本技术漂流箱的剖视放大结构示意图图4为本技术的横杆的俯视图。图中附图标记为：1、支架；2、气缸；3、导轨；4、滑块；5、竖杆；6、横杆；7、硬质水管；8、进水管；9、地面；10、排水管；11、漂流箱；12、漂流篮；13、支撑块；14、硅片料主体；15、喷嘴；16、漂流清洗管；17、基板；18、鼓风机；19、圆槽。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-4，本技术提供的一种实施例：一种硅片料清洗用漂流机械臂，包括气缸2、横杆6、漂流箱11、漂流篮12和鼓风机18，漂流箱11的内壁上固定有支撑块13，支撑块13用于支撑漂流篮12使用，支撑块13的上方放置有漂流篮12，漂流篮12用于承载硅片料主体14，做漂流清洗的载体使用，漂流箱11放置于地面9上，漂流箱11两侧的地面9上放置有支架1，支架1上用于固定机械化的漂流清洗结构，支架1的上端固定有气缸2，气缸2的型号为SC63，属于现有技术，在此不做过多描述，气缸2作为机械化漂流清洗的气动动力来源，气缸2一侧的支架1上端固定有导轨3，导轨3上通过滑块4滑动连接有竖杆5，导轨3上滑动连接滑块4，滑块4作为漂流机械臂用的支撑载件，也就是为了支撑竖杆5和横杆6做水平往复运动使用，从而带动硬质水管7及以下部件进行往复运动，使喷嘴15能够对不同位置硅片料主体14进行冲洗和翻转；竖杆5内侧的上端部固定有横杆6，横杆6提供供水结构的固定载体，往复运动时形成机械漂流的主要支撑件，横杆6的内侧嵌入固定有硬质水管7，硬质水管7为了方便固定使用，硬质水管7的底部固定有漂流清洗管16，漂流清洗管16的底部固定有喷嘴15，喷嘴15及漂流清洗管16作为漂流出水的主要构件，能够均匀的进行漂流作业，旋转喷嘴15的设计，能够向周围进行喷水，冲洗角度多样化，使水流运动带动硅片料主体14进行不断的翻转，能够更好的托起硅片料主体14进行漂流，使冲洗的更加全面漂流箱11内部的上端固定有基板17，基板17用于固定支撑鼓风机18使用，基板17的上方固定有鼓风机18，鼓风机18的型号为RT-H2125AS，属于现有技术，在此不做过多描述，鼓风机18作为对硅片料主体14的快速风干结构。进一步，漂流箱11共设有三组，支架1及其上方的气缸2、导轨3皆设有两组，且两组导轨3上的滑块4上皆固定有竖杆5，两组竖杆5分别对应横杆6的两端，气缸2、导轨3、滑块4、竖杆5和横杆6构成整个漂流机械臂的主体部分，利用两组气缸2推动滑块4在导轨3上水平往复运动，从而带动竖杆5及横杆6进行往复式的运动，从而实现横杆6内侧供水结构的漂流摇摆作业。进一步，漂流篮12的内部放置有硅片料主体14，喷嘴15底端的水平位置低于漂流篮12上端面的水平位置，硅片料主体14放置在漂流篮12内，方便进行批量漂流清洗，而喷嘴15设置于低于漂流篮12上端面的设计，则是为了更好的对漂流箱11内的水进行漂流，避免喷嘴15过高而导致水流的冲击力不够。进一步，漂流箱11的一侧贯穿固定有排水管10，且排水管10的排水量等于喷嘴15的出水量，排水管10用于排出清洗时产生的带有杂质的水，且排水管10的排水量等于九个喷嘴15的出水量，形成一个稳定的循环，保持漂流箱11内的水本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片料清洗用漂流机械臂，包括气缸(2)、横杆(6)、漂流箱(11)、漂流篮(12)和鼓风机(18)，其特征在于：所述漂流箱(11)的内壁上固定有支撑块(13)，所述支撑块(13)的上方放置有漂流篮(12)，所述漂流箱(11)放置于地面(9)上，所述漂流箱(11)两侧的地面(9)上放置有支架(1)，所述支架(1)的上端固定有气缸(2)，所述气缸(2)一侧的支架(1)上端固定有导轨(3)，所述导轨(3)上通过滑块(4)滑动连接有竖杆(5)，所述竖杆(5)内侧的上端部固定有横杆(6)，所述横杆(6)的内侧嵌入固定有硬质水管(7)，所述硬质水管(7)的底部固定有漂流清洗管(16)，所述漂流清洗管(16)的底部固定有喷嘴(15)，所述漂流箱(11)内部的上端固定有基板(17)，所述基板(17)的上方固定有鼓风机(18)。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅片料清洗用漂流机械臂，包括气缸(2)、横杆(6)、漂流箱(11)、漂流篮(12)和鼓风机(18)，其特征在于：所述漂流箱(11)的内壁上固定有支撑块(13)，所述支撑块(13)的上方放置有漂流篮(12)，所述漂流箱(11)放置于地面(9)上，所述漂流箱(11)两侧的地面(9)上放置有支架(1)，所述支架(1)的上端固定有气缸(2)，所述气缸(2)一侧的支架(1)上端固定有导轨(3)，所述导轨(3)上通过滑块(4)滑动连接有竖杆(5)，所述竖杆(5)内侧的上端部固定有横杆(6)，所述横杆(6)的内侧嵌入固定有硬质水管(7)，所述硬质水管(7)的底部固定有漂流清洗管(16)，所述漂流清洗管(16)的底部固定有喷嘴(15)，所述漂流箱(11)内部的上端固定有基板(17)，所述基板(17)的上方固定有鼓风机(18)。


2.根据权利要求1所述的一种硅片料清洗用漂流机械臂，其特征在于：所述漂流箱(11)共设有三组，所述支架(1)及其上方的气缸(2)、导轨(3)...

【专利技术属性】
技术研发人员：李威，
申请(专利权)人：浙江矽盛电子有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33