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一种底盖，适用于半导体工艺用的炉管，炉管具有多个注入器及底座，底盖配置于炉管的底座上，底盖包括圆板及外环体。外环体配置于圆板的外缘且向圆板背向底座的一面的上方延伸，外环体具有一个缺口，缺口足以容纳注入器。...
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