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多晶硅氢还原炉的可变截面积进气口装置，涉及半导体多晶硅氢还原炉的喷口结构。其特点是：与炉底壁（４）固为一体的固定喷口（１）外面套有一个可旋转的转动喷口（９），转动喷口（９）的顶端开有与固定喷口（１）数量、形状、尺寸、位置一样的中心孔（１０）...
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