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本实用新型公开了一种光刻胶形貌控制设备,包括：机架，与机架上端固定连接的加热模块，与加热模块电联的电控模块，与所述热模块对应的支撑层，所述支撑层与机架固定连接，其中，所述支撑层上设有冷板模块。与现有技术相比，本实用新型有效实现光刻胶表面与底...
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