下载加热设备和加热方法的技术资料

文档序号:2482109

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一种加热设备(45),具有沿玻璃基片(24)被输送机构(74)输送的方向布置的第一至第五加热炉(82~90)。第一加热炉(82)具有至少将玻璃基片(24)加热到处理工件(24)所需的目标温度的第一加热器(98a)。第二加热炉(84)具有将玻...
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