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晶界层半导体瓷片的烧成联体炉,其特征在于:它包括排胶炉体(1)、还原烧成炉体(2)和氧化炉体(3),排胶炉体(1)用于瓷料的锻烧和排胶,还原烧成炉体(2)用于排胶后的瓷片还原烧成,氧化炉体(3)用于还原烧成后的瓷片氧化,排胶炉体(1)的炉膛...该专利属于广东南方宏明电子科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东南方宏明电子科技股份有限公司授权不得商用。
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晶界层半导体瓷片的烧成联体炉,其特征在于:它包括排胶炉体(1)、还原烧成炉体(2)和氧化炉体(3),排胶炉体(1)用于瓷料的锻烧和排胶,还原烧成炉体(2)用于排胶后的瓷片还原烧成,氧化炉体(3)用于还原烧成后的瓷片氧化,排胶炉体(1)的炉膛...