温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开一种用于运输平板工件的载具，包括用于放置工件的载具主体，所述载具主体上开有一凹槽，还包括将凹槽分割成多个工件槽的若干个间隔体、用于缓冲平板工件的气垫系统，所述载具主体内设置一空腔，所述气垫系统包括槽体气垫、外腔体气垫、气体管，...
该专利属于成都拓维高科光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都拓维高科光电科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。