下载具有高迁移率通道的三维平坦NAND存储器装置及其制造方法的技术资料

文档序号:24808237

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一种三维存储器装置包含通过线型沟槽横向隔开的绝缘条带和导电条带的交替堆叠,以及位于所述线型沟槽中的存储器堆叠组合件和电介质柱结构的交替二维阵列。所述线型沟槽中的每一个填充有存储器堆叠组合件和电介质柱结构的相应横向交替序列。每一存储器堆叠组合...
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