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最小化场大小以减少非所要的杂散光制造技术
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文档序号:24808215
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可通过配置传感器的收集区域的大小来减少杂散光及空气散射光,此减少系统中的灵敏度限制噪声源。通过调整所述收集区域的大小,可减少杂散深紫外光及空气散射深紫外光。伺服系统可控制由时间延迟及积分传感器收集的照明光点的位置。...
该专利属于科磊股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过科磊股份有限公司授权不得商用。
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