下载用于气相沉积含钛膜的形成含钛膜的组合物的技术资料

文档序号:24808207

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披露了包含含卤化钛的前体的形成含钛膜的组合物。还披露了合成并且使用所披露的前体经由气相沉积工艺在一个或多个基板上沉积含钛膜的方法。...
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