下载压力传感器的屏蔽构造及具备该屏蔽构造的压力传感器的技术资料

文档序号:24807923

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在压力传感器中,在液封室(13)内的传感器芯片(16)的一方端面与膜片(32)之间,设有屏蔽部件(21)、和热膨胀率比被封入的压力传递介质(PM)的热膨胀率低的环状部件(17),并且屏蔽部件(21)的电位设为与传感器芯片(16)的信号处理电...
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