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本文公开了一种二氧化钒薄膜的制备方法。该制备方法包括：提供基底；在基底一侧形成具有良好相变性能的本征二氧化钒薄膜；在本征二氧化钒薄膜背离衬底一侧形成一层超薄的重掺杂二氧化钒薄膜，制得待退火样品；将待退火样品在预设温度中退火预设时间，得到低相...
该专利属于深圳大学所有，仅供学习研究参考，未经过深圳大学授权不得商用。

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