一种二氧化钒薄膜的制备方法技术

本文公开了一种二氧化钒薄膜的制备方法。该制备方法包括：提供基底；在基底一侧形成具有良好相变性能的本征二氧化钒薄膜；在本征二氧化钒薄膜背离衬底一侧形成一层超薄的重掺杂二氧化钒薄膜，制得待退火样品；将待退火样品在预设温度中退火预设时间，得到低相变温度的复合二氧化钒薄膜样品。本申请实施例提供的技术方案，在降低二氧化钒薄膜相变温度的同时，对其他相变性能几乎没有影响，同时二氧化钒薄膜的相变温度可以通过调节退火时间、重掺杂二氧化钒薄膜的膜层厚度、重掺杂二氧化钒薄膜的掺杂浓度等进行调节；同时，本申请实施例提供的制备方法工艺简单，适用范围较广。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】一种二氧化钒薄膜的制备方法
本申请实施例涉及材料
，例如涉及一种二氧化钒薄膜的制备方法。
技术介绍
二氧化钒(VO2)是一种具有半导体-金属相变特性的材料，相变前为半导体态，对红外光呈现为高透特性；相变后为金属态，对红外光呈现为高反特性。二氧化钒的上述相变特性使其在智能节能窗领域具有重要的应用前景。太阳辐射的总能量中98％的能量集中于红外光与可见光波段，其中的大多数能量都集中在红外波段，而二氧化钒在发生半导体-金属相变时正好对红外波段的光透过率和反射率发生突变，二氧化钒的这种特性使其成为智能窗材料的首选。具体应用场景中，夏天温度高时，VO2处于高温金属态，此时智能窗对红外光透过率很低，可以抑制红外光入射至室内，达到降低室温的目的；与之相反，当外界温度低于VO2的相变温度时，红外光可以以较高的透过率透过智能窗，使室内温度上升。由此，在窗户上安装镀有VO2薄膜的玻璃，可利用的VO2相变特性，实现对室内温度的智能调节，从而可实现冬暖夏凉的目的。通常，单晶二氧化钒的相变温度为68℃，虽然该相变温度最接近室温，但是对于智能窗应用而言，该温度本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种二氧化钒薄膜的制备方法，其中，包括：/n提供基底；/n在所述基底一侧形成本征二氧化钒薄膜；所述本征二氧化钒薄膜具有相变性能；/n在所述本征二氧化钒薄膜背离所述衬底一侧形成掺杂二氧化钒薄膜，制得待退火样品；/n将所述待退火样品在预设温度中退火预设时间。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种二氧化钒薄膜的制备方法，其中，包括：
提供基底；
在所述基底一侧形成本征二氧化钒薄膜；所述本征二氧化钒薄膜具有相变性能；
在所述本征二氧化钒薄膜背离所述衬底一侧形成掺杂二氧化钒薄膜，制得待退火样品；
将所述待退火样品在预设温度中退火预设时间。


2.根据权利要求1所述的二氧化钒薄膜的制备方法，其中：
所述在所述基底一侧形成本征二氧化钒薄膜包括：采用反应溅射工艺在所述基底一侧形成本征二氧化钒薄膜；
所述在所述本征二氧化钒薄膜背离所述衬底一侧形成掺杂二氧化钒薄膜包括：采用反应共溅射工艺在所述本征二氧化钒薄膜背离所述衬底一侧表面形成掺杂二氧化钒薄膜。


3.根据权利要求2所述的二氧化钒薄膜的制备方法，其中，所述采用反应溅射工艺在所述基底一侧形成本征二氧化钒薄膜之前还包括：
对钒靶材进行预溅射，以去除所述钒靶材表面的污染物。


4.根据权利要求1所述的二氧化钒薄膜的...

【专利技术属性】
技术研发人员：张东平，管欢，何其聪，戚家华，范平，
申请(专利权)人：深圳大学，
类型：发明
国别省市：广东;44