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本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；由顶电极、压电层和底电极构成的三明治结构，顶电极、压电层、底电极与声学镜在谐振器的厚度方向上的重叠部分形成有效区域；以及三明治结构的一侧的增强结构，所述增强结构用于反射声波提高Q值，其中：位于...
该专利属于天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司授权不得商用。

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