下载体声波谐振器及其制作方法、滤波器、双工器的技术资料

文档序号:24804792

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本公开提出了一种体声波谐振器及其制作方法、滤波器、双工器;其中,所述体声波谐振器,包括:衬底;在所述衬底上的声反射单元;在所述声反射单元上的压电堆叠结构;以及;在所述压电堆叠结构上的焊盘;其中,所述体声波谐振器还包括在所述压电堆叠结构上、和...
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