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本实用新型公开了一种化学机械研磨环及其挠性环。化学机械研磨环包含内环体、外环体与挠性环。内环体包含第一研磨面与第一连接面，第一连接面形成有多个锁孔，各锁孔包含宽口部与螺纹部，宽口部的直径大于螺纹部的直径。外环体环设于内环体外，外环体包含第二...
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