温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

为了解决现有技术中反应磁控溅射旋转阴极表面中毒后均采用手砂轮磨光机手工表面抛磨的问题，本实用新型提供一种反应磁控溅射旋转阴极靶中毒的表面处理装置，包括高速千叶磨轮Z轴升降机构、Y轴导入机构、旋转阴极靶锁定机构、旋转阴极靶升降机构、以及触控全...
该专利属于河南卓金光电科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河南卓金光电科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。