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薄膜层叠体、薄膜元件及层叠型基板制造技术
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文档序号:24803440
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薄膜层叠体具备:由金属构成的金属层和层叠于金属层的表面的薄膜,第一方向被定义为与金属层的表面平行的一个方向,第二方向被定义为与金属层的表面平行,且与第一方向交叉的一个方向,金属层包含多个第一金属粒及多个第二金属粒,第一金属粒由金属构成,在金...
该专利属于TDK株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过TDK株式会社授权不得商用。
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