下载用于混合组装的结构和包括该结构的装置的优化制造方法的技术资料

文档序号:24803405

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本发明涉及一种半导体结构(100)的制造方法,该半导体结构(100)旨在通过混合方式组装至第二支撑件(201)。该半导体结构(100)包括有源层(115),该有源层包括氮化的半导体。该方法包括:形成至少一个第一插入件主体和至少一个第二插入件...
该专利属于法国原子能源和替代能源委员会所有,仅供学习研究参考,未经过法国原子能源和替代能源委员会授权不得商用。

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