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本发明公开了一种PERC叠加SE的高开压扩散高方阻工艺，包括以下步骤：步骤S1：步骤S1：进舟；步骤S2：抽真空侧漏；步骤S3：升温低浓度预氧化；步骤S4：恒温高浓度预氧化；步骤S5：低温高浓度氧气沉积；步骤S6：升温高浓度氧气沉积；步骤S...
该专利属于横店集团东磁股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过横店集团东磁股份有限公司授权不得商用。

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