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沟槽型MOS场效应晶体管及方法、电子设备技术
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文档序号:24803333
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本发明公开了沟槽型MOS场效应晶体管及方法、电子设备。该场效应晶体管包括:第一电极金属层、半导体衬底层以及外延层,多个沟槽位于所述外延层远离所述半导体衬底层一侧的表面上,沟槽中设置有栅绝缘层以及栅极;阱区,所述阱区位于相邻的两个所述沟槽之间...
该专利属于深圳比亚迪微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳比亚迪微电子有限公司授权不得商用。
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