下载改善GaN HEMT器件散热性能的结构及布局的技术资料

文档序号:24803311

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本发明公开了一种改善GaN HEMT器件散热性能的结构及布局,该结构包括:衬底;外延结构,制作于该衬底之上;源极,制作于该外延结构之上;漏极,制作于该外延结构之上;以及栅极,制作于该外延结构之上;其中,源极的宽度大于所述漏极的宽度,所述宽度...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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