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有双重冷却系统的多晶硅还原炉技术方案
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下载有双重冷却系统的多晶硅还原炉的技术资料
文档序号:2480331
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有双重冷却系统的多晶硅还原炉,主要由底盘、含夹套冷却水的钟罩式双层炉体、电极、视镜孔、混和气进气管、混和气尾气出气管、炉体冷却水进水管、炉体冷却水出水管、底盘冷却水进水管、底盘冷却水出水管、电极冷却水进水管、电极冷却水出水管及其他附属部件组...
该专利属于朱青松;王存惠所有,仅供学习研究参考,未经过朱青松;王存惠授权不得商用。
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