温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本文揭示一种具有个别可控制区的接合卡盘及相关联的系统和方法。所述接合卡盘包括多个个别区，其可在纵向方向上相对于彼此移动。在一些实施例中，所述个别区包含具有第一外表面的第一区，以及在所述第一区外围且包含第二外表面的第二区。所述第一区可在纵向方...
该专利属于美光科技公司所有，仅供学习研究参考，未经过美光科技公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。