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本发明提供了一种用于清洗晶圆的背面的滚轮。晶圆的背面具有中心区域以及包围中心区域的外围区域。滚轮包括上部元件、底部元件以及用于连接上部元件和底部元件的轴元件。滚轮的上部元件配置成与晶圆的正面接触。底部元件配置成与晶圆的背面接触并从晶圆的背面...
该专利属于夏泰鑫半导体(青岛)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过夏泰鑫半导体(青岛)有限公司授权不得商用。

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