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本发明涉及一种基板处理装置。本发明的基板处理装置具有：以多段方式收纳多张基板的盒；能够密闭地收纳所述盒的腔室；和用于使所述盒在所述腔室内升降的升降机构。所述腔室具有顶棚部、底部和侧部，并且被分割为上腔室和下腔室且以平面状环设有相互成为密封面...
该专利属于株式会社爱发科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社爱发科授权不得商用。

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