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本发明使向基板涂布的涂布物稳定地固化。实施方式的基板加热装置包括：腔室，在内部形成有能够收容基板的收容空间；减压部，能够对所述收容空间的气氛进行减压；基板加热部，配置在所述基板的一面侧以及另一面侧的至少一方，并且能够加热所述基板；压力检测部...
该专利属于东京应化工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京应化工业株式会社授权不得商用。

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