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本发明提供一种电磁波辅助固化纳米图形结构的方法，所述方法包括，将经显影后的晶圆放置于去离子水溶液中，用去离子水溶液置换出显影液；将置换完成的晶圆固定在微波干燥腔室内的载片台上；旋转载片台，对晶圆进行离心甩干，同时启动真空泵组，将腔室内的水汽...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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