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本发明提供一种三维集成电路芯片的贯孔修复方法及修复系统,包括:提供彼此连通的至少两层芯片;芯片之间采用贯孔传输电学信号,同一电学信号对应于至少一贯孔,提供至少一性能良好的冗余贯孔,贯孔、冗余贯孔为硅穿孔、非硅穿孔或采用混合键接方式形成;通过...该专利属于格科微电子(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过格科微电子(上海)有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种三维集成电路芯片的贯孔修复方法及修复系统,包括:提供彼此连通的至少两层芯片;芯片之间采用贯孔传输电学信号,同一电学信号对应于至少一贯孔,提供至少一性能良好的冗余贯孔,贯孔、冗余贯孔为硅穿孔、非硅穿孔或采用混合键接方式形成;通过...