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一种用于加工微纳结构的光镊打印装置制造方法及图纸
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下载一种用于加工微纳结构的光镊打印装置的技术资料
文档序号:24801467
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本实用新型提供了一种用于加工微纳结构的光镊打印装置,包括沿激光光路顺次设置的激光器、偏振片、半波片、扩束镜组、液晶空间光调制器SLM、第一凸透镜、第二凸透镜、分束镜、物镜、可移动载物台;所述物镜的一端连接有白光光源LED、另一端连接有一反射...
该专利属于深圳大学所有,仅供学习研究参考,未经过深圳大学授权不得商用。
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