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本发明提供了一种掩模版条码扫描装置及版库及传输系统及扫描方法，所述掩模版条码扫描装置包括：光源单元、信号采集单元、电气处理单元及集成框架单元，所述光源单元产生条码扫描的检测光，所述信号采集单元采集所述检测光通过匀速运动状态的被测掩模版的条码...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

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