一种掩模版条码扫描装置及版库及传输系统及扫描方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种掩模版条码扫描装置及版库及传输系统及扫描方法，所述掩模版条码扫描装置包括：光源单元、信号采集单元、电气处理单元及集成框架单元，所述光源单元产生条码扫描的检测光，所述信号采集单元采集所述检测光通过匀速运动状态的被测掩模版的条码区域时产生的光信号，所述电气处理单元处理采集到的所述光信号以得到电信号并转换为掩模版的信息，实现了掩模版条码的动态扫描以及掩模版信息的动态采集，提高了掩模版条码扫描效率和扫描精度，提高了该装置的通用性。

【技术实现步骤摘要】
一种掩模版条码扫描装置及版库及传输系统及扫描方法
本专利技术涉及光刻设备
，特别涉及一种掩模版条码扫描装置及版库及传输系统及扫描方法。
技术介绍
掩模版传输系统中必不可少的一项是对掩模版的条码进行采集，目前，光刻设备
一般采用工业相机以拍照的形式采集掩模版条码信息。在读取掩模版条码信息过程中，机械手先从掩模版版盒中取出掩模版，然后运动到掩模版条码扫描装置并进行对准操作，待条码扫描装置拍完条码照片后，机械手再启动将掩模版输送到指定位置，这就造成机械手和掩模版在镜头下拍照时会停留一段时间，这会导致工作效率低下，无法实现快速地动态扫描并识别掩模版。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种掩模版条码扫描装置及版库及传输系统及扫描方法，以解决不能动态扫描及识别掩模版条码的问题。为解决上述技术问题，本专利技术提供一种掩模版条码扫描装置，用于掩模版条码的扫描与识别，所述掩模版条码扫描装置包括：光源单元，用于产生条码扫描的检测光；信号采集单元，用于采集所述检测光通过匀速运动状态的被测掩模版的条码区域时本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩模版条码扫描装置，用于掩模版条码的扫描与识别，其特征在于，所述掩模版条码扫描装置包括：/n光源单元，用于产生条码扫描的检测光；/n信号采集单元，用于采集所述检测光通过匀速运动状态的被测掩模版的条码区域时产生的光信号；/n电气处理单元，用于处理采集到的所述光信号以得到电信号并转换为掩模版的信息；/n集成框架单元，用于为所述光源单元、所述信号采集单元和所述电气处理单元提供支撑。/n

【技术特征摘要】
1.一种掩模版条码扫描装置，用于掩模版条码的扫描与识别，其特征在于，所述掩模版条码扫描装置包括：
光源单元，用于产生条码扫描的检测光；
信号采集单元，用于采集所述检测光通过匀速运动状态的被测掩模版的条码区域时产生的光信号；
电气处理单元，用于处理采集到的所述光信号以得到电信号并转换为掩模版的信息；
集成框架单元，用于为所述光源单元、所述信号采集单元和所述电气处理单元提供支撑。


2.根据权利要求1所述的掩模版条码扫描装置，其特征在于，所述集成框架单元包括第一框架组件和第二框架组件，所述第一框架组件置于所述第二框架组件上，所述光源单元设于所述第一框架组件上，所述电气处理单元设于所述第二框架组件的内部，所述信号采集单元设于所述第二框架组件内的顶部且位于所述光源单元的下方。


3.根据权利要求1所述的掩模版条码扫描装置，其特征在于，所述信号采集单元包括从上到下依次排列的滤光片、第一狭缝结构、第一透镜、第二透镜及第二狭缝结构；
所述信号采集单元还包括一固定支架，所述固定支架具有一凸起，所述凸起与所述第二框架的内壁构成一具有容置空间的盒体；
所述滤光片水平地嵌在所述固定支架的上表面，所述第一狭缝结构、所述第一透镜、所述第二透镜及所述第二狭缝结构从上向下依次水平地安装于所述盒体内，所述固定支架的上表面设于所述第一开口处。


4.根据权利要求3所述的掩模版条码扫描装置，其特征在于，所述光源单元与所述滤光片、所述第一狭缝结构、所述第一透镜、所述第二透镜及所述第二狭缝结构均同轴。


5.根据权利要求4所述的掩模版条码扫描装置，其特征在于，所述信号采集单元还包括透明支架和弹簧，所述透明支架设于所述第一透镜和所述第二透镜之间，所述弹簧设于所述第二透镜和所述第二狭缝结构之间。


6.根据权利要求1所述的掩模版条码扫描装置，其特征在于，所述电气处理单元包括依次相连的光电接收器、采样电路单元、比较电路单元及通讯转换单元；
所述光电接收器用于将采集到的所述光信号转换成电流信号；
所述采样电路单元用于将所述电流信号转换为电压信号；
所述比较电路单元用于将所述电压信号与比较电路单元设定的阈值电压信号进行比较，得到一比较后的电压信号，并将所述比较后的电压信号传送至所述通讯转换单元；
所述通讯转换单元用于将所述比较后的电压信号转换成电信号。


7.根据权利要求6所述的掩模版条码扫描装置，其特征在于，所述电气处理单元还包括一信号输出接口，所述信号输出接口与所述通讯转换单元相连，所述第二框架组件的底部设有第二开口，所述信号输出接口通过所述第二开口与外部的上位机端相连，所述信号输出接口用于接收所述通讯转换单元输出的所述电信号，并将所述电信号向外部的上位机端输出。


8.根据权利要求7所述的掩模版条码扫描装置，其特征在于，所述电气处理单元还包括一外罩，所述光电接收器、采样电路单元、比较电路单元及通讯转换单元设于所述外罩内，所述信号输出接口设于所述外罩上。


9.根据权利要求1所述的掩模版条码扫描装置，其特征在于，所述掩模版条码扫描装置还包括一供电单元，所述供电单元设于所述第二框架组件的内部，所述供电单元用于给所述光源单元、所述信号采集单元及所述电气处理单元供电。


10.根据权利要求9所述的掩模版条码扫描装置，其特征在于，所述第二框架组件包括：框盖和框体，所述框盖安装...

【专利技术属性】
技术研发人员：耿辉，陈淮阳，郑教增，庞飞，郝凤龙，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31