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本发明公开了一种兼顾调焦调平和精密对准的测量系统及其测量方法。该系统的特点在于将暗场莫尔条纹对准偏差检测功能和啁啾光栅间隙检测功能集成到一组探测单元中。所述兼顾对准和调焦调平的测量系统实现了垂向测量系统和水平向测量系统的一体化结构，减少了光...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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