下载利用带平面倾斜图案表面的校准对象校准VFL透镜系统的系统和方法的技术资料

文档序号:24797970

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提供了一种用于利用聚焦状态校准对象来确定包括VFL透镜(例如,可调谐声梯度透镜)的可变焦距(VFL)透镜系统的校准数据的系统和方法。校准对象包括平面倾斜图案表面,在该平面倾斜图案表面上分布有聚焦状态参考区域(FSRR)(例如,倾斜光栅)的集...
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