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分离式显微系统及其调校方法技术方案
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文档序号:24797915
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一种分离式显微系统及其调校方法,该分离式显微系统用以观测一设置于一待测平面的待测物,并使待测物成像于一成像装置,包含一倍镜、一调校组件与一物镜。倍镜,具有一倍镜光轴,且受操作地使倍镜光轴垂直于待测平面。调校组件,可组装地连结于倍镜邻近于待测...
该专利属于致茂电子(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过致茂电子(苏州)有限公司授权不得商用。
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