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本发明设计了一种跨尺度的薄膜应力测试系统及测试方法，先将试样薄膜放置于试样板，通过氦氖激光经过不平整薄膜的反射光线，在阵线CCD的接受处理后光信号变成放大的电信号，计算机计算得到翘曲度，以及公式推导后得到薄膜宏观应力，确定需要进一步测量的区...
该专利属于武汉大学所有，仅供学习研究参考，未经过武汉大学授权不得商用。

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